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光刻機巨頭阿斯麥的發展(一)


芯片制造的曝光-刻蝕過程與沖印照片原理類似,也有人形容像雕刻,只不過光刻機雕的是芯片,“刀”是光。光刻機的工藝決定著芯片的尺寸和性能,是生産半導體芯片最重要的設備之一。

1984年,S&I與ASM成立合資公司阿斯麥,雙方各占50%股份。飛利浦和ASM原本約定各向合資公司注資210萬美元,但刨除價值180萬美元的17台光刻機和其他庫存後,飛利浦只給阿斯麥賬戶轉了30萬美元。當時,光刻機市場有10個玩家,既有占據較大市場份額的美國GCA和Perkin-Elmer,也有正虎視眈眈的新秀日本尼康和佳能,阿斯麥墊底。

阿斯麥的首任首席執行官賈特·斯密特是一位敏銳的科學家,他聽完各類不利消息,反倒對阿斯麥有信心。在他看來,阿斯麥的光刻技術領先時代,其對准技術非常先進,“電動晶圓台”會成爲阿斯麥獨有的賣點。只要再具備優秀的光學元件,阿斯麥就可以創造出世界級的産品。對准技術、晶圓台、光學鏡頭三大零部件,未來也將成爲阿斯麥産品的利器。

電動晶圓台


斯密特相信,只要能在兩年內制造出一台滿足制造商需求的新設備,阿斯麥就可以實現彎道超車,成爲行業內第一。畢竟,在新技術面前,所有玩家站在同一個起跑線上。自此,阿斯麥奪命狂奔推新品的上半生,開始了。

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